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专利名称：一种压力传感器芯体专利类型：实用新型专利
发明人：袁晓斌,陈龙,张妮妮,刘秀娥申请号：CN201220617534.5申请日：20121119公开号：CN202928730U公开日：20130508
摘要：本实用新型涉及一种压力传感器芯体，包括圆柱状的壳体，在所述壳体的上端设置有水平凹槽，所述水平凹槽内焊接有SOI芯片。该芯体采用SOI芯片与壳体结合的方式，其结构简单，容易加工，且能够保证加工及测量精度。
申请人：西安微纳传感器研究所有限公司
地址：710054 陕西省西安市雁塔区雁翔路99号交大科技园B区37号维纳大厦二层
国籍：CN
代理机构：西安西交通盛知识产权代理有限责任公司
代理人：申美鹃
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